Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Photoresist application for the LIGA process


    Beteiligte:
    Chaudhuri, B. (Autor:in) / Guckel, H. (Autor:in) / Klein, J. (Autor:in) / Fischer, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 4 , 4 ; 159-162


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Silicon IC compatible LIGA mask-fabrication process

    Suzuki, K. / Sugiyama, S. | British Library Online Contents | 1997


    LIGA-Fabricated Freestanding Meshes for FIR-Application

    Gemuend, H.-P. / Kreysa, E. / Rupecht, R. et al. | British Library Online Contents | 1996


    New electroforming technology pressure aid for LIGA process

    Tsai, T.-H. / Yang, H. / Chein, R. | British Library Online Contents | 2004


    Eine andere Liga - Abgasnachbehandlung

    Rosenberger,T. / Kolbenschmidt Pierburg,Neckarsulm,DE | Kraftfahrwesen | 2010


    Materials of LIGA technolgy

    Ehrfeld, W. / Hessel, V. / Loewe, H. et al. | British Library Online Contents | 1999