Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Theoretical and experimental study of capacitance considering fabrication process and edge effect for MEMS comb actuator


    Beteiligte:
    Zhanshe, G. (Autor:in) / Zhou, F. (Autor:in) / Le, C. (Autor:in) / Shangchun, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    A method to measure the micro-capacitance for MEMS comb actuators

    Zhanshe, G. / Le, C. / Jinliang, W. et al. | British Library Online Contents | 2011


    A self-aligned fabrication method of dual comb drive using multilayers SOI process for optical MEMS applications

    Lin, W. T. / Chiou, J. C. / Tsou, C. | British Library Online Contents | 2005


    Fabrication of Comb Shape of Leading Edge Wing of Dragonfly

    Umezu, Shinjiro / Tanabe, Naoyuki / Hashimoto, Hiromu | Tema Archiv | 2014


    An All-Silicon Comb-Tooth Capacitive MEMS Accelerometer

    Niu, Haobin / Sun, Guoliang / Wang, Shuaimin et al. | Springer Verlag | 2022


    A low voltage vertical comb RF MEMS switch

    Aghaei, S. / Abbaspour-Sani, E. | British Library Online Contents | 2010