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    Titel :

    A method to measure the micro-capacitance for MEMS comb actuators


    Beteiligte:
    Zhanshe, G. (Autor:in) / Le, C. (Autor:in) / Jinliang, W. (Autor:in) / Shangchun, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 17 , 12 ; 1771-1778


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2011


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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