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    Titel :

    Micro cam system driven by electrostatic comb-drive actuators based on SOI-MEMS technology


    Beteiligte:
    Pham, P. H. (Autor:in) / Dinh, T. K. (Autor:in) / Dang, L. B. (Autor:in) / Nguyen, K. T. (Autor:in) / Dao, D. V. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 21 , 3 ; 699-706


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2015


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Micro robot system with moving micro-car driven by electrostatic comb-drive actuators

    Pham, P. H. / Dang, L. B. / Vu, H. N. | British Library Online Contents | 2010


    A method to measure the micro-capacitance for MEMS comb actuators

    Zhanshe, G. / Le, C. / Jinliang, W. et al. | British Library Online Contents | 2011


    Electrostatic comb-drive actuators made of polyimide for actuating micromotion convert mechanisms

    Kamiya, D. / Hayama, T. / Horie, M. | British Library Online Contents | 1999



    Piezoelectric micro-actuators for RF-MEMS switches

    Kanno, I. / Hironobu Endo, / Suzuki, T. et al. | IEEE | 2005