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    Titel :

    A self-aligned fabrication method of dual comb drive using multilayers SOI process for optical MEMS applications


    Beteiligte:
    Lin, W. T. (Autor:in) / Chiou, J. C. (Autor:in) / Tsou, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 11 , 2/3 ; 204-209


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    A Novel Self-Aligned Fabrication Process for Nickel-Indiffused Lithium Niobate Ridge Optical Waveguides

    Chang, W.-C. / Sue, C.-Y. / Hou, H.-C. et al. | British Library Online Contents | 1999


    Micro cam system driven by electrostatic comb-drive actuators based on SOI-MEMS technology

    Pham, P. H. / Dinh, T. K. / Dang, L. B. et al. | British Library Online Contents | 2015


    Dual-Comb Spectroscopy

    Ideguchi, Takuro | British Library Online Contents | 2017


    A micromachined comb drive fork tuning gyroscope for commercial applications

    Weinberg, M. / Bernstein, J. / Cho, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995