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    Titel :

    Electropolishing as a method for deburring high aspect ratio nickel RF MEMS


    Beteiligte:
    Kissling, S. (Autor:in) / Bade, K. (Autor:in) / Börner, M. (Autor:in) / Klymyshyn, D. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 8-9 ; 1361-1367


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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