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    Titel :

    Silicon Waveguide Sidewall Smoothing by KrF Excimer Laser Reformation


    Beteiligte:
    Shih-Che, H. (Autor:in) / Eih-Zhe, L. (Autor:in) / Ching-Fuh, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    2009-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.3692



    Silicon Waveguide Sidewall Smoothing by Wet Chemical Oxidation

    Sparacin, D. K. / Spector, S. J. / Kimerling, L. C. | British Library Online Contents | 2005



    Oxidation Smoothing of Sidewall Roughness in AlGaAs Heterostructure Waveguides

    IEEE Lasers and Electro-optics Society | British Library Conference Proceedings | 2005


    Excimer laser machining of silicon nitride

    Wehner,M. / Burstroem,M. / Fraunhofer-Inst.f.Lasertechnologie,Aachen,DE et al. | Kraftfahrwesen | 1991


    Micromachining with waveguide excimer lasers

    Christensen, C. P. / Duignan, Michael T. / Rodriguez, Louis R. | SPIE | 1993