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    Titel :

    Applications of thick Sacrificial-Layer of zinc in LIGA process


    Beteiligte:
    Huang, X. (Autor:in) / Liu, G. (Autor:in) / Ying, X. (Autor:in) / Wang, J. (Autor:in) / Guo, Y. (Autor:in) / Kang, C. (Autor:in) / Tian, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1257-1261


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




    A new sacrificial layer method of LIGA technology to fabricate movable part of a gripper

    Yi, F. / Tang, E. / Zhang, J. et al. | British Library Online Contents | 2000


    Polymer micromachining technologies for a table-shaped tactile sensor using thick sacrificial layer

    Lee, J. I. / Shikida, M. / Sato, K. | British Library Online Contents | 2015


    Photoresist application for the LIGA process

    Chaudhuri, B. / Guckel, H. / Klein, J. et al. | British Library Online Contents | 1998


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    Suzuki, K. / Sugiyama, S. | British Library Online Contents | 1997