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    Titel :

    High aspect ratio micro tool manufacturing for polymer replication using μEDM of silicon, selective etching and electroforming


    Beteiligte:
    Tosello, G. (Autor:in) / Bissacco, G. (Autor:in) / Tang, P. T. (Autor:in) / Hansen, H. N. (Autor:in) / Nielsen, P. C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 9-11 ; 1757-1764


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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