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    Titel :

    ViPER: simulation software for high aspect ratio plasma etching of silicon


    Beteiligte:
    Ishchuk, V. (Autor:in) / Volland, B. E. (Autor:in) / Rangelow, I. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 10-11 ; 1791-1796


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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