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    Titel :

    Fabrication and dynamic analysis of the electrostatically actuated MEMS variable capacitor


    Beteiligte:
    Fang, D. M. (Autor:in) / Jing, X. M. (Autor:in) / Wang, P. H. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Zhao, X. L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 3 ; 397-402


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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