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    Titel :

    Experimental measurements and behavioral modeling of an electrostatically actuated bi-axial micromirror


    Beteiligte:
    Parrain, F. (Autor:in) / Megherbi, S. (Autor:in) / Raynaud, G. (Autor:in) / Mathias, H. (Autor:in) / Gilles, J. P. (Autor:in) / Bosseboeuf, A. (Autor:in) / Schröpfer, G. (Autor:in) / Faure, N. (Autor:in) / Cusin, P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 1-2 ; 8-14


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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    Mathias, Adam / Fox, Jon / Temmen, Mark et al. | AIAA | 2011


    A High Speed Electrostatically Actuated Al-MEMS Micromirror Array

    Mathias, A. / Fox, J. / Temmen, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2011


    Modeling of segmented controlled electrostatically actuated bimorph beams

    Waggoner, Kullen W. / Lake, Robert A. | IEEE | 2017



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