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    Titel :

    A surface micromachining process for suspended RF-MEMS applications using porous silicon


    Beteiligte:
    Ding, Y. (Autor:in) / Liu, Z. (Autor:in) / Liu, L. (Autor:in) / Li, Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2003


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Micromachining techniques for silicon carbide MEMS

    Zorman, Christian / Rajan, Narayanan / Mehregany, Mehran | AIAA | 1999


    Fibre-optical MEMS switches based on bulk silicon micromachining

    Hoffmann, M. / Kopka, P. / Nusse, D. et al. | British Library Online Contents | 2003


    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Lee,K.W. / Walker,B.E. / Allied Automotive,US et al. | Kraftfahrwesen | 1986


    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Walker, B. E. / Lee, K. W. | SAE Technical Papers | 1986


    Design of a RF-MEMS BAW filter using surface micromachining [4414-100]

    Cong, P. / Liu, Y. / Ren, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2001