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    Titel :

    Micromachining techniques for silicon carbide MEMS


    Beteiligte:

    Kongress:

    Space Technology Conference and Exposition ; 1999 ; Albuquerque , NM , U.S.A.



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1999



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch




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