Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    New MEMS Process Technology for Pressure Sensors Integrated with CMOS Circuits


    Beteiligte:

    Kongress:

    SAE 2014 world congress and exhibition ; 2014 ; Detroit, MI



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    321 pages


    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    New MEMS Process Technology for Pressure Sensors Integrated with CMOS Circuits

    Iwamori, Noriyuki / Abe, Ryuichirou / Asai, Shinya et al. | SAE Technical Papers | 2014


    A Modular CMOS Foundry Process for Integrated Piezoresistive Pressure Sensors

    Dahlmann, G. / Holzer, G. / Hering, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 2005


    CMOS integrated elliptic diaphragm capacitive pressure sensor in SiGe MEMS

    Sundararajan, A. D. / Rezaul Hasan, S. M. | British Library Online Contents | 2014


    Latchup in CMOS Integrated Circuits

    Soliman, K. A. / Nichols, D. K. | NTRS | 1985


    Smart CMOS pressure sensors

    Kandler,M. / Eichholz,J. / Manoli,Y. et al. | Kraftfahrwesen | 1990