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    Titel :

    CMOS integrated elliptic diaphragm capacitive pressure sensor in SiGe MEMS


    Beteiligte:

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 20 , 1 ; 145-155


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2014


    Format / Umfang :

    11 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    An Integrated CMOS MEMS Xylophone Magnetometer with Capacitive Sense Electronics

    Tucker, John / Wesoleck, Danielle / Wickenden, Dennis | AIAA | 2002


    A novel high sensitive MEMS intraocular capacitive pressure sensor

    Ganji, B. A. / Shahiri-Tabarestani, M. | British Library Online Contents | 2013


    Performance Analysis and Simulation of MEMS Capacitive Pressure Sensor

    Ananthi, S. / Lamba, Monica / Chaudhary, Himanshu et al. | Springer Verlag | 2022


    AIAA-2002-5723 An Integrated CMOS MEMS Xylophone Magnetometer with Capacitive Sense Electronics

    Tucker, J. / Wesoleck, D. / Wickenden, D. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002


    Liquid crystal polymer based MEMS capacitive pressure sensor [5798-30]

    Palasagaram, J. N. / Ramadoss, R. | British Library Conference Proceedings | 2005