Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Proximity-compensated kinoforms directly written by e-beam lithography


    Beteiligte:
    Larsson, M. (Autor:in) / Ekberg, M. (Autor:in) / Nikolajeff, F. (Autor:in) / Haard, S. (Autor:in) / Lee, S. H. / SPIE

    Kongress:

    Conference, Diffractive and miniaturized optics ; 1993 ; San Diego; CA



    Erscheinungsdatum :

    1994-01-01


    Format / Umfang :

    27 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Polarization modifying kinoforms

    Kotlyar, V. V. / Zalyalov, O. K. / Russian Academy of Sciences et al. | British Library Conference Proceedings | 1994


    Kinoforms for wideband use

    Arieli, Y. / Lauber, Y. Z. / Eisenberg, N. P. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    DTuD27 Multifacet kinoforms for KrF excimer laser

    Schaefer, D. / Ihlemann, J. / Marowsky, G. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Shape distortion of diffractive optical elements, directly written with electron beam lithography

    Nikolajeft, F. / Ekberg, M. / Larsson, M. et al. | British Library Conference Proceedings | 1993


    Iterative weight-based method for calculating kinoforms

    Kotlyar, V. V. / Seraphimovich, P. G. / Soifer, V. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994