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    Titel :

    DTuD27 Multifacet kinoforms for KrF excimer laser


    Beteiligte:
    Schaefer, D. (Autor:in) / Ihlemann, J. (Autor:in) / Marowsky, G. (Autor:in) / Burghardt, B. (Autor:in) / Timm, M. (Autor:in)

    Kongress:

    Conference, Diffractive optics and micro-optics ; 2000 ; Quebec City, Canada



    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01


    Format / Umfang :

    3 pages


    Anmerkungen:

    Also known as DOMO 2000




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Polarization modifying kinoforms

    Kotlyar, V. V. / Zalyalov, O. K. / Russian Academy of Sciences et al. | British Library Conference Proceedings | 1994


    Kinoforms for wideband use

    Arieli, Y. / Lauber, Y. Z. / Eisenberg, N. P. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Iterative weight-based method for calculating kinoforms

    Kotlyar, V. V. / Seraphimovich, P. G. / Soifer, V. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994



    Proximity-compensated kinoforms directly written by e-beam lithography

    Larsson, M. / Ekberg, M. / Nikolajeff, F. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994