Im vorliegenden Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor für den Einsatz im Automobilbau vorgestellt, der in der CMOS IC-Technologie gefertigt wird und somit mit einer entsprechenden Ausleseelektronik auf einem Chip integriert werden kann. Durch Herstellung in einer planaren Ätztechnik ist der Sensor sehr klein und extrem überdrucksicher. Vorteile einer solchen monolithischen Produktion sind die elektromagnetische Verträglichkeit, die Betriebssicherheit, seine geringen Abmessungen und die Integrationsfähigkeit in eine microcontrollergestützte Meß- und Regeltechnik.


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    Title :

    CMOS kompatibler Drucksensor in planarer Ätztechnik mit integrierter Ausleseelektronik


    Additional title:

    CMOS compatible pressure sensor with readout electronics


    Contributors:
    Eichholz, J. (author) / Kandler, M. (author) / Manoli, Y. (author) / Mokwa, W. (author)


    Publication date :

    1990


    Size :

    8 Seiten, 7 Bilder, 3 Quellen


    Type of media :

    Conference paper


    Type of material :

    Print


    Language :

    German