Das Verbundprojekt CarGas hatte zum Ziel, einen Metalloxid-Gassensor zu entwickeln, der bei hinreichend niedrigen Temperaturen betrieben werden kann, um den Sensor gemeinsam mit seiner Ansteuerelektronik in einen CMOS-Chip integrieren zu können. Um die Funktionalität des Sensors bei niedrigen Temperaturen zu gewährleisten, wird die gassensitive Metalloxid-Schicht als nanoskalige Dünnschicht ausgeführt und zusätzlich mit einem elektrischen Feld angesteuert, das von einer in den Sensorchip integrierten Elektrode aus angelegt wird. Zusätzlich kann mit dem angelegten Feld auch die Selektivität der Schicht derart verändert werden, dass mehrere Gase mit einem Sensor voneinander unterschieden werden können. Der Sensor zielt auf Anwendungsgebiete in der NO2- und CO-Messtechnik, wie beispielsweise der Luftklappensteuerung im Automobil.
The CarGas project goal was the development of a metal oxide gas sensor working at temperatures low enough to allow an integration of the sensor together with its controI electronics into one single CMOS chip. The gas sensitive metal oxide is designed as a nanoscaled thin film layer. It is controlled by an electrical field applied from chip integrated electrodes in order to assure sensor functionality at low temperatures. Additionally, the applied field influences the sensitive layer's gas selectivity in a way that several gases can be distinguished with a single sensor. The Sensor aims at application areas in NO2 and CO measuring technique as e.g. air quality control in vehicles.
CarGas. CMOS-kompatibler nanoskaliger Gassensor. Abschlussbericht. Laufzeit: 01.07.2005 - 30.06.2008
2009
34 Seiten, 34 Bilder, 1 Tabelle
Report
German
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