ISAAC ist ein Zwei-Chip-Beschleunigungsmesser, der aus einem mikrogefertigten Differentialkondensator als Meßelement zusammen mit einem CMOS-Interface-Chip einschließlich EEPROM-Kalibrier-Schaltung besteht. Beide Chips befinden sich in einem IC-Gehäuse. Das Meßelement verwendet eine Torsions-Mikrostruktur, die ein Differenzsignal in der Größenordnung von Femtofarad erzeugt, das an die Signalverarbeitung auf dem Interface-Chip drahtgebunden weitergegeben wird. Das Interface-Chip verwendet einen Charge-Mode-Delta-Sigma-Modulator, der die Sensorsignale in Impuls-Dichte-Signale umformt. Diese sind proportional zur Beschleunigung. Der Beschleunigungsmesser wurde für bestimmte Einsatzgebiete (50g, 400 Hz) entwickelt, vorzugsweise für den Einsatz im Kraftfahrzeug (Ford Motor Co.).
ISAAC: integrated silicon automotive accelerometer
ISAAC: Integrierter Silizium-Kraftfahrzeug-Beschleunigungsmesser
Sensors and Actuators, A, Physical ; 54 , 1-3 ; 523-529
1996
7 Seiten, 11 Bilder, 3 Quellen
Article (Journal)
English
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