Es wird das Design-Konzept, der Herstellungsprozeß und die experimentellen Eigenschaften eines piezo-resistiven Beschleunigungsaufnehmers beschrieben. Das Hauptanwendungsgebiet liegt auf dem KFZ-Sektor. Der Sensor besteht aus drei Siliciumebenen, die das signalaufnehmende Masse-Feder-System mit einer Piezo-Widerstandsbrücke aufnehmen. Die Deckscheibe dient zur Einstellung der Dämpfung und ist gleichzeitig ein Überlastschutz. Die realisierbaren Meßbereiche liegen zwischen 2 g und 50 g. Die Temperaturdrift ist systematisch korregierbar. Theoretische Aspekte und die experimentellen Ergebnisse werden erläutert.


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    Title :

    Piezoresistive silicon accelerometer for automotive applications


    Additional title:

    Piezoresistive Silizium-Beschleunigungsaufnehmer für Kfz-Anwendungen


    Contributors:
    Seidel, H. (author) / Fritsch, U. (author) / Gottinger, R. (author) / Schuster, G. (author) / Nothelfer, U. (author) / Riedel, H. (author) / Kupke, W. (author) / Voß, R. (author)


    Publication date :

    1993


    Size :

    8 Seiten, 5 Bilder, 1 Tabelle, 13 Quellen


    Type of media :

    Conference paper


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    A piezoresistive silicon accelerometer with monolithically integrated CMOS-circuitry

    Seidel, H. / Fritsch, U. / Gottinger, R. et al. | Tema Archive | 1995


    ISAAC: integrated silicon automotive accelerometer

    Spangler, L.C. / Kemp, C.J. | Tema Archive | 1996


    ISAAC - integrated silicon automotive accelerometer

    Spangler, L. / Kemp, C.J. | Tema Archive | 1995


    An axial-beam piezoresistive accelerometer for high-performance crash detection of automotive industry

    Dong, Peitao / Li, Xinxin / Wang, Yuelin et al. | Tema Archive | 2007


    Piezoresistive acceleration sensor for automotive applications

    Tsugai, M. / Bessho, M. / Araki, T. et al. | Tema Archive | 1992