Es wird das Design-Konzept, der Herstellungsprozeß und die experimentellen Eigenschaften eines piezo-resistiven Beschleunigungsaufnehmers beschrieben. Das Hauptanwendungsgebiet liegt auf dem KFZ-Sektor. Der Sensor besteht aus drei Siliciumebenen, die das signalaufnehmende Masse-Feder-System mit einer Piezo-Widerstandsbrücke aufnehmen. Die Deckscheibe dient zur Einstellung der Dämpfung und ist gleichzeitig ein Überlastschutz. Die realisierbaren Meßbereiche liegen zwischen 2 g und 50 g. Die Temperaturdrift ist systematisch korregierbar. Theoretische Aspekte und die experimentellen Ergebnisse werden erläutert.
Piezoresistive silicon accelerometer for automotive applications
Piezoresistive Silizium-Beschleunigungsaufnehmer für Kfz-Anwendungen
1993
8 Seiten, 5 Bilder, 1 Tabelle, 13 Quellen
Conference paper
English
A piezoresistive silicon accelerometer with monolithically integrated CMOS-circuitry
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|ISAAC: integrated silicon automotive accelerometer
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|ISAAC - integrated silicon automotive accelerometer
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