Folienpräsentation: HiPIMS (high power impulse magnetron sputtering) ermöglicht die Beschichtung großer Substrate von bis zu 600x1000 mm2. Bei der Herstellung der gehärteten Glasscheibe mit Schicht erfolgt der Biegeprozess nach der Beschichtung bei Raumtemperatur. Um Forderungen wie verbessertes Schichtwachstum, dichtere Schichten und niedrige Beschichtungsrate zu erfüllen, wird hier mit kurzen Pulsen von 30 mikros und hohen Peakströmen gearbeitet. Die Schichten aus SiO(x)N(y)-Deckschicht (Sauerstoffbarriere, ca. 40 nm) und ITO (Indium-Zinn-Oxid, 100 nm - 300 nm) als TCO (transparentes leitfähiges Oxid) auf Floatglas werden mit dem Taber-Test nach Norm DIN 52347 (Deutsches Institut für Normung) und einem Scratch-Test für die Rockwell-Härte geprüft. Diagramme zeigen die optischen und elektrischen Eigenschaften von ITO direkt nach der Herstellung und nach dem Tempern, das die Lichtdurchlässigkeit und die elektrische Leitfähigkeit steigert. HiPIMS führt gegenüber Gleichstrom-Sputtern zu ITO-Schichten mit kleineren Kristalliten und besserer mechanischer Stabilität und Kratzfestigkeit. Mit einer Trübung von <2 % wird die DIN 52347 für Außenverglasung erfüllt, die optische Durchlässigkeit im sichtbaren Bereich liegt über 80 %. Das beschichtete Glas kann geformt und vorgespannt werden. Das Verfahren eignet sich für die Herstellung von beschlag- und eisfreien Kraftfahrzeugscheiben, Architekturverglasungen, transparenten Schutzheizungen in Destillationskolonnen, transparenten Heizern und anderen dreidimensionalen Objekten.
Die eisfreie Autoscheibe und andere Anwendungen von mittels HiPIMS hergestellten TCOs
2011
12 Seiten, 19 Bilder
Conference paper
German
transparente elektrisch leitende Schicht , transparent-leitendes Oxid , Fahrzeugfenster , Verglasung (Produkt) , heizbare Verglasung , Sonnenschutzverglasung , Antireflexschicht , Indiumzinnoxid , Magnetronzerstäubung , Biegeumformen , Vorspannen , Härte , Kratzfestigkeit , optische Durchlässigkeit , Undurchsichtigkeit
TCOs for nip thin film silicon solar cells
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