Es wird ein Duennschicht-Halbleiterbauelement beschrieben, dessen elektrischer Widerstand von der umgebenden Konzentration an NO beziehungsweise NO2 abhaengig ist. Der Halbleiter-Zinnoxid Sensor (TFS) zeigt, wenn er in den Auspuff eines Verbrennungsmotors gebracht wird, in seinem Widerstand das Luft-Benzin-Verhaeltnis des Gemischs an. Der groesste Widerstand wird bei einem L/B-Verhaeltnis im Bereich von 17 bis 18 beobachtet. Frequenzgangmessungen am Bauelement haben eine Zeitkonstante von 1,1 s ergeben. Der Duennschichthalbleitersensor kann ohne groesseren Aufwand mit einem Chemilumineszenz-Analysator fuer die NOx-Konzentrationsmessungen geeicht werden. In insgesamt sechs Messdiagrammen werden verschiedene Eichkurven dargestellt; zahlreiche Literaturhinweise erlauben ein weiteres Studium des Problemkreises.
Thin film semiconductor NOx sensor
Duennschichthalbleiter als NOx Sensor
1980
9 Seiten, 7 Bilder, 11 Quellen
Conference paper
English
Thin Film Semiconductor NOx Sensor
SAE Technical Papers | 1980
|Thin film semiconductor NOx sensor
Automotive engineering | 1980
|NTIS | 1968
|Integrated Thin-Film Fluorescence Sensor
Online Contents | 1998
Thin film oxygen partial pressure sensor
TIBKAT | 1972
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