Industrie und Forschung benötigen Verfahren zur schnellen, genauen und robusten Erfassung und Vermessung von Oberflächen. Insbesondere berührungslose Messverfahren sind bevorzugt, weil sie leichter in Anlagen integriert werden können. Mittels Speckle-Interferometern können raue Oberflächen selbst aus mittlerer Entfernung zuverlässig erfasst werden. Zusätzliche Möglichkeiten ergeben sich aus dem Einsatz von Zwei-Wellenlängen-Verfahren. Durch die Auswertung der Phasenverschiebung zwischen den Lichtwellen unterschiedlicher Wellenlänge wird das Messergebnis unabhängig von der Messentfernung zum Objekt. Somit sind geformte Oberflächen erfassbar. Um die Auslösung und Messgenauigkeit zu erhöhen, wurde der Einsatz von Mikro-Spiegel-Arrays untersucht. Auswirkungen auf die Wellenfrontbeugung wurden zusätzlich betrachtet. Optimierungen sind noch erforderlich zur besseren Berücksichtigung der Wellenbeugungseffekte.


    Access

    Access via TIB

    Check availability in my library

    Order at Subito €


    Export, share and cite



    Title :

    Micro-Mirror-Arrays (MMA) zur Auflösungserhöhung von Oberflächenformvermessungen


    Additional title:

    Micro-Mirror-Arrays (MMA) used to improve the resolution of survace shape measurement



    Published in:

    tm - Technisches Messen ; 76 , 4 ; 182-188


    Publication date :

    2009-01-01


    Size :

    7 pages



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German





    Synchronized mirror arrays have fast response

    British Library Online Contents | 2002


    Digital micro-mirror devices

    Online Contents | 1994


    Micro-mirror laser scanner combined with a varifocal mirror

    Hokari, R. / Hane, K. | British Library Online Contents | 2012


    MICRO-ANTENNA ARRAYS

    STANLEY BYRON / FOX BRYAN J / FREEDMAN SANFORD | European Patent Office | 2022

    Free access