Industrie und Forschung benötigen Verfahren zur schnellen, genauen und robusten Erfassung und Vermessung von Oberflächen. Insbesondere berührungslose Messverfahren sind bevorzugt, weil sie leichter in Anlagen integriert werden können. Mittels Speckle-Interferometern können raue Oberflächen selbst aus mittlerer Entfernung zuverlässig erfasst werden. Zusätzliche Möglichkeiten ergeben sich aus dem Einsatz von Zwei-Wellenlängen-Verfahren. Durch die Auswertung der Phasenverschiebung zwischen den Lichtwellen unterschiedlicher Wellenlänge wird das Messergebnis unabhängig von der Messentfernung zum Objekt. Somit sind geformte Oberflächen erfassbar. Um die Auslösung und Messgenauigkeit zu erhöhen, wurde der Einsatz von Mikro-Spiegel-Arrays untersucht. Auswirkungen auf die Wellenfrontbeugung wurden zusätzlich betrachtet. Optimierungen sind noch erforderlich zur besseren Berücksichtigung der Wellenbeugungseffekte.
Micro-Mirror-Arrays (MMA) zur Auflösungserhöhung von Oberflächenformvermessungen
Micro-Mirror-Arrays (MMA) used to improve the resolution of survace shape measurement
tm - Technisches Messen ; 76 , 4 ; 182-188
01.01.2009
7 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
Sensor , Oberfläche , Reflexion , Wellenphysik , Mikrostruktur , Optik , Meßgenauigkeit
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Micro-Mirror Arrays for Adaptive Wavefront Correction
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