A MEMS-based micro speaker has at least one flexible cantilever (121, 122, 123) attached to a support structure (100) via at least one attachment section (141, 142, 142). The at least one flexible cantilever deflects relative to the support structure (100) in response to control signals (C1, C2, C3) influencing piezoelectric actuators mechanically linked to the least one flexible cantilever. A flexible polymer membrane that prevents fluid leakage covers the at least one flexible cantilever (121, 122, 123) and at least a portion of the support structure (100). The support structure (100) surrounds an active area (AA) in which the at least one flexible cantilever (121, 122, 123) is deflectable relative to the support structure (100). The at least one flexible cantilever (121, 122, 123) has a meander-shaped outline, such that an extension thereof is longer than a shortest distance from the at least one attachment section (141, 142, 142) to the center (C).
L'invention concerne un haut-parleur miniature fondé sur un MEMS qui comporte au moins un microlevier flexible (121, 122, 123) fixé à une structure de support (100) par l'intermédiaire d'au moins une section de fixation (141, 142, 142). L'au moins un microlevier flexible se déforme par rapport à la structure de support (100) en réponse à des signaux de commande (C1, C2, C3) agissant sur des actionneurs piézoélectriques liés mécaniquement à l'au moins un microlevier flexible. Une membrane polymère flexible qui empêche une fuite de fluide recouvre l'au moins un microlevier flexible (121, 122, 123) et au moins une partie de la structure de support (100). La structure de support (100) entoure une zone active (AA) dans laquelle l'au moins un microlevier flexible (121, 122, 123) peut être déformé par rapport à la structure de support (100). L'au moins un microlevier flexible (121, 122, 123) présente un contour en forme de méandre, de sorte qu'une extension de celui-ci soit plus longue qu'une distance la plus courte de l'au moins une section de fixation (141, 142, 142) au centre (C).
A MICRO-ELECTROMECHANICAL-SYSTEM BASED MICRO SPEAKER
HAUT-PARLEUR MINIATURE FONDÉ SUR UN MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE
2024-09-19
Patent
Electronic Resource
English
IPC: | H04R LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS , Lautsprecher, Mikrofone, Schallplatten-Tonabnehmer oder ähnliche akustische, elektromechanische Wandler / B60B VEHICLE WHEELS , Räder für Fahrzeuge / G10K Tonerzeugungsvorrichtungen , SOUND-PRODUCING DEVICES |
Controlling Micro ElectroMechanical Systems (MEMS) in Space
British Library Conference Proceedings | 2003
|Driving gesture detecting system based on MEMS (Micro-electromechanical Systems) sensors
European Patent Office | 2015
|Micro-electromechanical system (MEMS) pneumatic control microsystem based on peristaltic electrode
European Patent Office | 2023
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