Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Halten von Werkstücken (30) in einer Prozesskammer. Ferner betrifft die Erfindung eine Beschichtungsanlage (20), sowie ein Verfahren zum Beschichten eines Werkstücks (30). Um für die Position von Werkstücken (30) eine präzise Höhenverstellbarkeit bei fester und stabiler Lagerung bereitzustellen, umfasst die Haltevorrichtung (10) eine Ablage (72) für die Werkstücke (30), ein höhenverstellbares erstes Stützelement (22) und ein höhenverstellbares zweites Stützelement (48) für die Ablage (72), wobei die Stützelemente (22, 48) jeweils zumindest ein erstes und ein zweites Schenkelelement (26, 56) umfassen, wobei das jeweils erste und das jeweils zweite Schenkelelement (26, 56) gegeneinander um eine Schwenkachse X, Y schwenkbar gekoppelt sind, und wobei die Schwenkachse X des ersten Stützelements (22) unter einem Winkel zu der Schwenkachse Y des zweiten Stützelements (48) angeordnet ist.
The invention relates to a device (10) for holding workpieces (30) in a process chamber. The invention additionally relates to a coating system (20) and to a method for coating a workpiece (30). The aim of the invention is to allow a precise adjustment of the height of the position of workpieces (30) while supporting same in a secure and stable manner. This is achieved in that the holding device (10) comprises a tray (72) for the workpieces (30) and a first support element (22) with an adjustable height and a second support element (48) with an adjustable height for the tray (72), wherein each of the support elements (22, 48) comprises at least one first and second limb element (26, 56), and in each case the first and second limb elements (26, 56) are coupled pivotally relative to each other about a pivot axis X, Y, the pivot axis X of the first support element (22) being arranged at an angle to the pivot axis Y of the second support element (48).
L'invention concerne un dispositif (10) destiné à maintenir des pièces (30) dans une chambre de traitement. L'invention concerne en outre une installation de revêtement (20) ainsi qu'un procédé permettant de munir une pièce (30) d'un revêtement (30). Afin de permettre un réglage précis en hauteur pour la position des pièces (30), avec un montage fixe et stable, le dispositif de retenue (10) comprend un support (72) pour les pièces (30), un premier élément d'appui (22) réglable en hauteur et un second élément d'appui (48) réglable en hauteur pour le support (72), les éléments d'appui (22, 48) comprenant chacun au moins un premier et un second élément formant branche (26,56), dans chaque cas le premier élément formant branche et le second élément formant branche (26, 56) étant accouplés de manière à pivoter l'un par rapport à l'autre autour d'un axe de pivotement X, Y, et l'axe de pivotement X du premier élément d'appui (22) étant agencé selon un angle par rapport à l'axe de pivotement Y du second élément d'appui (48).
SUBSTRAT-AUFNAHME FÜR PROZESSKAMMERN
SUBSTRATE RECEIVING AREA FOR PROCESS CHAMBERS
ÉLÉMENT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT POUR CHAMBRES DE TRAITEMENT
2021-07-15
Patent
Electronic Resource
German
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B66F HOISTING, LIFTING, HAULING, OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD , Hub-, Verhol- oder Schubvorrichtungen, soweit nicht anderweitig vorgesehen, z.B. Vorrichtungen mit unmittelbarer Krafteinwirkung auf die Last / C23C Beschichten metallischer Werkstoffe , COATING METALLIC MATERIAL / F16M Rahmen, Gehäuse oder Grundplatten von Kraftmaschinen oder anderen Maschinen oder von Apparaten, nicht auf eine besondere Art von Maschine oder Apparat eingeschränkt, die anderweitig vorgesehen ist , FRAMES, CASINGS, OR BEDS, OF ENGINES OR OTHER MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO AN ENGINE, MACHINE, OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE / H01J Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen , ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS |
SLUB | 1959
|Substrat fur verschiedenste Bauteile
British Library Online Contents | 2010
Substrat revêtu d'une couche poreuse et un module solaire comportant ce substrat
European Patent Office | 2019
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