An apparatus including a first base plate, where the first base plate is configured to have at least one linear drive component and/or at least one power coupling component connected to a top side of the first base plate, where the first base plate is configured to be located inside a vacuum chamber; and a plurality of rails or transport guides on the top side of the first base plate. An end of the first base plate includes at least one alignment feature configured to align an end of the first base plate to an end of a second base plate, The first base plate is configured to provide, in combination with the second base plate, a structural platform inside the vacuum chamber for a robot drive to move in the vacuum chamber along the plurality of transport guides.

    La présente invention concerne un appareil comprenant une première plaque de base, la première plaque de base étant configurée pour présenter au moins un composant d'entraînement linéaire et/ou au moins un composant de couplage de puissance connecté à un côté supérieur de la première plaque de base, la première plaque de base étant configurée pour être située à l'intérieur d'une chambre à vide ; et une pluralité de rails ou de guides de transport sur le côté supérieur de la première plaque de base. Une extrémité de la première plaque de base comprend au moins un élément d'alignement configuré pour aligner une extrémité de la première plaque de base à une extrémité d'une seconde plaque de base. La première plaque de base est configurée pour fournir, en combinaison avec la seconde plaque de base, une plateforme structurale à l'intérieur de la chambre à vide pour un entraînement de robot pour son déplacement dans la chambre à vide le long de la pluralité de guides de transport.


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    Title :

    MODULAR MATERIAL HANDLING ROBOT PLATFORM


    Additional title:

    PLATEFORME DE ROBOT DE MANIPULATION DE MATÉRIAU MODULAIRE


    Contributors:
    HOSEK MARTIN (author) / SAH SRIPATI (author)

    Publication date :

    2020-08-20


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    English


    Classification :

    IPC:    B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen / B25J Manipulatoren , MANIPULATORS / H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES



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