본 발명의일실시 형태는, 반도체 공정 중 플라즈마 식각 챔버의 커버를 리프팅하는 안전 호이스트에 있어서, 상기 식각 챔버의 커버에 연결되는 복수의 와이어와, 상기 복수의 와이어를 각각 권상시키는 권취부와, 상기 권취부를 회전시키는 모터부, 및 상기 모터부의 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 안전 호이스트를 제공할 수 있다.


    Access

    Download


    Export, share and cite



    Title :

    SAFETY HOIST


    Additional title:

    안전 호이스트


    Publication date :

    2024-07-04


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    Korean


    Classification :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B66D Haspeln , CAPSTANS



    Safety construction hoist

    XU SIDUI / ZHANG JIHAO / XU ZHIXIANG et al. | European Patent Office | 2023

    Free access

    Hoist with safety function

    TERENCE BROCKLEHURST / ROBIN PENNY | European Patent Office | 2023

    Free access

    High-safety construction hoist

    QIAO XIAOLIN | European Patent Office | 2020

    Free access

    Hoist with improved safety

    European Patent Office | 2021

    Free access

    Hoist safety lock mechanism

    HANSEN TIM | European Patent Office | 2017

    Free access