본 발명의일실시 형태는, 반도체 공정 중 플라즈마 식각 챔버의 커버를 리프팅하는 안전 호이스트에 있어서, 상기 식각 챔버의 커버에 연결되는 복수의 와이어와, 상기 복수의 와이어를 각각 권상시키는 권취부와, 상기 권취부를 회전시키는 모터부, 및 상기 모터부의 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 안전 호이스트를 제공할 수 있다.
SAFETY HOIST
안전 호이스트
2024-07-04
Patent
Electronic Resource
Korean