본 발명의일실시 형태는, 반도체 공정 중 플라즈마 식각 챔버의 커버를 리프팅하는 안전 호이스트에 있어서, 상기 식각 챔버의 커버에 연결되는 복수의 와이어와, 상기 복수의 와이어를 각각 권상시키는 권취부와, 상기 권취부를 회전시키는 모터부, 및 상기 모터부의 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 안전 호이스트를 제공할 수 있다.


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    Titel :

    SAFETY HOIST


    Weitere Titelangaben:

    안전 호이스트


    Beteiligte:
    LEE JONG YEONG (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    04.07.2024


    Medientyp :

    Patent


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Koreanisch


    Klassifikation :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B66D Haspeln , CAPSTANS



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