To provide a differential capacitance probe for measuring contact resistance.SOLUTION: A differential capacitance probe 100 for measuring contact resistance includes: a frame 101; an end effector 102 extending from the frame; a first capacitive pad connected to the frame so as to at least partially surround the end effector; and a second capacitive pad 104 connected to the frame so as to be spaced in a radial direction from the first capacitive pad relative to the end effector and at least partially surround the end effector. A contact surface area of the first capacitive pad is substantially the same as the other contact surface of the second capacitive pad.SELECTED DRAWING: Figure 3A
【課題】接触抵抗を測定するための差動容量プローブを提供する。【解決手段】接触抵抗を測定するための差動容量プローブ100であって、差動容量プローブが、フレーム101、フレームから延びるエンドエフェクタ102、少なくとも部分的にエンドエフェクタを取り囲むようにフレームに接続された第1の容量性パッド、およびエンドエフェクタに対して第1の容量性パッドから径方向に間隔を空けるように、かつ、エンドエフェクタを少なくとも部分的に取り囲むようにフレームに接続された第2の容量性パッド104を含み、第1の容量性パッドの接触表面積は、第2の容量性パッドのもう一つの接触面と実質的に同じである、差動容量プローブ。【選択図】図3A
DIFFERENTIAL CAPACITANCE PROBE FOR MEASURING CONTACT RESISTANCE
接触抵抗を測定するための差動容量プローブ
2020-07-27
Patent
Electronic Resource
Japanese
Digital capacitance measuring system
NTRS | 1973
Calibration of a cylindrical RF capacitance probe
Tema Archive | 1974
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