To more stably control a temperature of target equipment.SOLUTION: An equipment temperature controller comprises a plurality of coolers 14, a condenser 16, an outgoing pipe 21 and a return pipe 22. The plurality of coolers 14 each has an inflow port 141 introducing, into an internal space of a body 143, working fluid flowing in the outgoing pipe 21, and a discharge port 142 discharging, to the return pipe 22, the working fluid evaporated in the body 143. The outgoing pipe 21 is arranged so that at least a part of liquid passage 21a formed by the outgoing pipe 21 is positioned higher than the inflow port 141 of the plurality of coolers 14.SELECTED DRAWING: Figure 4
【課題】より安定的に対象機器の温度調整を実現できるようにする。【解決手段】複数の冷却器14、凝縮器16、往路配管21および復路配管22を備え、複数の冷却器14は、それぞれ往路配管21を流れる作動流体を本体143の内部空間に導入する流入口141と、本体143にて蒸発した作動流体を復路配管22へ排出する排出口142と、を有する。往路配管21は、該往路配管21により形成される液通路21aの少なくとも一部が複数の冷却器14の流入口141よりも高い位置となるよう配置されている。【選択図】図4
EQUIPMENT TEMPERATURE CONTROLLER
機器温調装置
2019-06-06
Patent
Electronic Resource
Japanese