Augen und Arme der Mikroelektronik. Neue Fertigungsmethoden miniaturisieren Sensoren und Aktoren
New manufacturing measures miniaturize sensors and actors.
Fluid Z.f.Hydraul.u.Pneum. ; 29 , 1/2
1995
3 pages
Fluid Z.f.Hydraul.u.Pneum.;29(1995)1/2;52-57
Article (Journal)
German
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