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    Titel :

    Augen und Arme der Mikroelektronik. Neue Fertigungsmethoden miniaturisieren Sensoren und Aktoren


    Weitere Titelangaben:

    New manufacturing measures miniaturize sensors and actors.


    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1995


    Format / Umfang :

    3 pages


    Anmerkungen:

    Fluid Z.f.Hydraul.u.Pneum.;29(1995)1/2;52-57


    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch