Silicon microstructures:merging mechanics with electronics
Siliziummikrostrukturen:Ein Verschmelzen der Mechanik mit der Elektronik.
1992
10 pages
SAE-Paper;920472;1992;Sensors and Actuators 1992;SAE Spec. Publ.; SP-903
Miscellaneous
English
Silicon Microstructures: Merging Mechanics with Electronics
SAE Technical Papers | 1992
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