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    Titel :

    Silicon microstructures:merging mechanics with electronics


    Weitere Titelangaben:

    Siliziummikrostrukturen:Ein Verschmelzen der Mechanik mit der Elektronik.


    Beteiligte:

    Erscheinungsdatum :

    1992


    Format / Umfang :

    10 pages


    Anmerkungen:

    SAE-Paper;920472;1992;Sensors and Actuators 1992;SAE Spec. Publ.; SP-903


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch