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    Title :

    CVD-Silizium-Beschichtung von Oberflaechen gegen Adsorptionseffekte und Kohlenstoffablagerungen


    Additional title:

    CVD-Si coating of surfaces versus adsorption effects and carbon deposition.


    Contributors:

    Publication date :

    2011


    Size :

    33 pages


    Remarks:

    9.FAD Konferenz; 2011;Tagung Dresden,November 2011


    Type of media :

    Miscellaneous


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




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