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    Titel :

    CVD-Silizium-Beschichtung von Oberflaechen gegen Adsorptionseffekte und Kohlenstoffablagerungen


    Weitere Titelangaben:

    CVD-Si coating of surfaces versus adsorption effects and carbon deposition.


    Beteiligte:
    Kuett,J. (Autor:in) / Higgins,M. (Autor:in) / Silvis,P. (Autor:in) / SilcoTek,US

    Erscheinungsdatum :

    2011


    Format / Umfang :

    33 pages


    Anmerkungen:

    9.FAD Konferenz; 2011;Tagung Dresden,November 2011


    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




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