Bestimmung der Unsicherheit bei der Lokalisierung von Mikrostrukturen unter Verwendung eines kombinierten optischen Sensorsystems
Determination of uncertainty in localization of microstructures using a combined optical sensor system.
2006
15 pages
VDI-Ber.; 2006;Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen. Grundlagen, Praxisbeispiele;VDI-Berichte;Nr.;1947
Miscellaneous
German
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