Grobvakuum statt Hochvakuum: vielfaeltige Einsatzgebiete fuer Plasmaquellen in der Oberflaechentechnik
Manny different applications for plasma sources in surface technics.
Met.-Oberflaeche ; 59 , 5
2005
2 pages
Met.-Oberflaeche;59(2005)5 ;18-19
Article (Journal)
German
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