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    Titel :

    Grobvakuum statt Hochvakuum: vielfaeltige Einsatzgebiete fuer Plasmaquellen in der Oberflaechentechnik


    Weitere Titelangaben:

    Manny different applications for plasma sources in surface technics.



    Erschienen in:

    Met.-Oberflaeche ; 59 , 5 ; 18-19


    Erscheinungsdatum :

    2005


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    Met.-Oberflaeche;59(2005)5 ;18-19


    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch