Charakterisierung von kapazitiven EMIS Sensoren mittels Impedanzspektroskopie, Kapizitaets Spannungs Messung und Konstant Kapazitaets Messung
Characterization of capacitive EMIS sensors by impedance spectroscopy, capacitance voltage and constant capacitance method.
2004
4 pages
VDI-Ber.; 2004;Sensoren und Messysteme (Tag.Ludwigsburg, Maerz 2004);VDI-Berichte;Nr.;1829
Miscellaneous
German
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