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    Title :

    Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen


    Contributors:

    Edition :

    1. Aufl.


    Publication date :

    2013


    Size :

    VIII, 148 S.


    Remarks:

    30 cm, 446 g
    graph. Darst.
    Digital preservation by Sächsische Landesbibliothek - Staats- und Universitätsbibliothek Dresden



    Type of media :

    Theses


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



    Classification :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher
    DDC:    621.38152
    RVK:    ZN 4154