Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen
1. Aufl.
2013
VIII, 148 S.
30 cm, 446 g
graph. Darst.
Langzeitarchivierung durch Sächsische Landesbibliothek - Staats- und Universitätsbibliothek Dresden
Hochschulschrift
Deutsch
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