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    Titel :

    Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen


    Beteiligte:

    Ausgabe :

    1. Aufl.


    Erscheinungsdatum :

    2013


    Format / Umfang :

    VIII, 148 S.


    Anmerkungen:

    30 cm, 446 g
    graph. Darst.
    Langzeitarchivierung durch Sächsische Landesbibliothek - Staats- und Universitätsbibliothek Dresden



    Medientyp :

    Hochschulschrift


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



    Klassifikation :

    BKL:    53.56 Halbleitertechnologie / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher
    DDC:    621.38152
    RVK:    ZN 4154