Neue Sensoren und Aktoren für die Lasermaterialbearbeitung (Strahllagestellsystem) : Abschlußbericht ; [Auftragsdatum: 01.10.1990, Abschlußdatum: 31.12.1993]
1994
61 Bl
Ill., graph. Darst
TZN-Auftragsnr.: 696 7253
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Report
German
Bus kontra Kabelsalat. Sensoren/Aktoren
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Sensoren und Aktoren zur bedarfsgerechten Lüftung
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|Augen und Arme der Mikroelektronik. Neue Fertigungsmethoden miniaturisieren Sensoren und Aktoren
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