Packed-bed reactor produces silicon by decomposing ultrapure silane gas in temperature gradient. Based on previous experiments with relatively low decomposition temperatures and with temperature gradients, heterogeneous decomposition will produce few fines. Fines produced are screened out and reinserted into furnace.


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    Titel :

    Tube-Furnace Production of Silicon


    Beteiligte:
    Farrier, E. G. (Autor:in) / Rexer, J. (Autor:in) / Timmel, P. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.03.1982



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


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