Laser machine scans wafers for contaminating particles which cause open circuits, short circuits, and other defects in integrated circuits and transfers good wafers to integrated circuit processing equipment. Machine is faster and more accurate than human operator using lightfield/dark field microscope.


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    Titel :

    Automatic inspection of silicon wafers


    Beteiligte:
    Martin, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1980-04-01



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


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