Mechanical manipulator automatically loads, transports, and unloads silicon wafers between processing stations in large-scale integrated-circuit fabrication facility at Marshall Space Flight Center thus eliminating need for human opeators at various stages in processing cycle. It also reduces possibility of wafer contamination.


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    Titel :

    Remote manipulator for IC wafers


    Beteiligte:
    Hudgins, J. L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.08.1979



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :



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    Allen, W. H. / Blackmer, R. H. / Interian, A. | NTRS | 1969