Device for cathodic sputtering utilizes cathode dark-space region adjacent to high negative-potential surfaces. Feedthrough is made of metal and glass, is helium leaktight, and is bakeable; it can be incorporated into any vacuum apparatus.


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    Titel :

    Ultra-high-vacuum electrical feedthrough


    Beteiligte:
    Gavaler, J. R. (Autor:in) / Janocko, M. A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    1976-03-01



    Medientyp :

    Sonstige


    Format :

    Keine Angabe


    Sprache :

    Englisch




    Low partial discharge vacuum feedthrough

    Benham, J. W. / Peck, S. R. | NTRS | 1979


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